紫外光源与EUV极紫外光源：探索未知的光之世界 在我们的日常生活中，我们经常使用各种各样的光源，如白炽灯、荧光灯、LED灯等。你是否听说过紫外光源和EUV极紫外光源？这些光源可能不为人们所熟知，但它们却在科学研究和现代技术中扮演着重要的角色。 紫外光源是指波长在100纳米到400纳米之间的电磁波，它们比可见光波长更短，更具有能量。紫外光源有很多应用，例如在医学中用于杀灭细菌和病毒，还可以用于制造半导体芯片和光刻技术等。 与此EUV极紫外光源则是一种波长在10纳米到20纳米之间的电磁波，它们比紫

突破极限，EUV光刻机引领下一代芯片制造 1. 随着信息技术的飞速发展，芯片作为信息产业的核心，已经成为现代社会不可或缺的基础设施。随着芯片制造工艺的不断革新，传统的光刻技术已经无法满足对芯片制造精度和效率的要求，EUV光刻技术应运而生。 2. 传统光刻技术的瓶颈 在传统的光刻技术中，光源的波长越短，分辨率越高，但是由于光的折射、衍射和散射等现象的影响，使得制程狭窄化和精度提高变得更加困难。特别是在芯片制造中，对于线宽和间距等微观结构的精度要求越来越高，传统光刻技术已经不能满足这些要求。 3.

摩尔定律得救：EUV光刻技术来拯救 1. 随着半导体工艺的不断发展，摩尔定律已经成为了半导体行业的一个不可或缺的规律。随着半导体工艺的不断提升，传统的光刻技术已经无法满足工艺的需求，这也让摩尔定律的未来变得不确定。而EUV光刻技术的出现，为摩尔定律的未来带来了新的希望。 2. 传统光刻技术的瓶颈 传统的光刻技术使用的是紫外光刻技术，但是在工艺的不断提升下，紫外光刻技术已经无法满足工艺的需求。紫外光刻技术的波长已经达到了极限，无法再进一步缩小，这也就限制了芯片的制造精度。传统的光刻技术使用的是光